質(zhì)量流量計(jì)是一種精確測(cè)量氣體流量的儀表，其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。熱式流量開(kāi)關(guān)熱導(dǎo)式流量開(kāi)關(guān)。質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門(mén)，閥門(mén)能使通過(guò)控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿(mǎn)量程，在工作的過(guò)程當(dāng)中，控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降，即壓差。

　　質(zhì)量流量計(jì)使用中出現(xiàn)故障，一般分為工藝原因造成的測(cè)量故障和流量計(jì)本身器件出現(xiàn)損壞而引發(fā)的故障。

　　1、工藝原因引發(fā)的測(cè)量故障:

　　常見(jiàn)的就是被測(cè)流體出現(xiàn)兩相流現(xiàn)象。具體到液體的測(cè)量中主要為被測(cè)液體沒(méi)有充滿(mǎn)流量計(jì)測(cè)量管或測(cè)量管上部集聚氣體，或有固態(tài)雜質(zhì)進(jìn)入測(cè)量管中卡主，引發(fā)質(zhì)量流量計(jì)故障報(bào)警。

　　處理方法：通過(guò)排放氣體變更安裝方式等手段保證質(zhì)量流量計(jì)所測(cè)流體為單向流，采取措施清除測(cè)量管內(nèi)的固體雜質(zhì)。

　　2、質(zhì)量流量計(jì)本身器件出現(xiàn)損壞造成流量計(jì)故障：

　　使用中常見(jiàn)的是流量計(jì)接線盒進(jìn)水或接線松動(dòng)引發(fā)短路、信號(hào)丟失等故障。

　　處理方法：對(duì)此除嚴(yán)格規(guī)范現(xiàn)場(chǎng)安裝外，日常還要進(jìn)行細(xì)致的巡檢維護(hù)，防止處理不及時(shí)引發(fā)傳感器線圈燒毀等更嚴(yán)重的故障發(fā)生。

　　3、變送器電路板損壞，常見(jiàn)的故障時(shí)變送器的電源板、信號(hào)處理輸出板出現(xiàn)損壞。

　　處理方法：除嚴(yán)格規(guī)范線纜信號(hào)接線外還要做好防雷接地措施，使用獨(dú)立的穩(wěn)壓電源保證供電電源的可靠性，防止電源電壓大幅度波動(dòng)而燒毀器件。